半導(dǎo)體精密運動平臺

• 半導(dǎo)體精密運動平臺XY軸采用直線電機(jī)驅(qū)動，滑塊滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向及光柵尺閉環(huán)反饋組成，R軸直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動可實現(xiàn)360°旋轉(zhuǎn)，Z軸布置于平臺大理石橫梁，常用于半導(dǎo)體精密制造及檢測。

• 產(chǎn)品參數(shù)

  Tips：絲桿模組行程超過750mm時，會產(chǎn)生螺桿偏擺，此時請將降低速度；最高速度是以伺服馬達(dá)最高轉(zhuǎn)速3000RPM以下為基準(zhǔn)；馬達(dá)加減速設(shè)定為0.2s。

• 注意：限于文件大小和數(shù)量限制，高清產(chǎn)品手冊PDF版及完整的產(chǎn)品3D模型STEP文件，請聯(lián)系我司業(yè)務(wù)人員獲取，給您帶來不便敬請諒解！