xy軸精密定位平臺(tái)

• 一般環(huán)境使用

• xy軸精密大理石直線電機(jī)定位平臺(tái)，采用無鐵芯直線電機(jī)和SP級(jí)交叉滾子導(dǎo)軌，全套雷尼紹光柵，檢測(cè)精度0.1um，多應(yīng)用于晶圓檢測(cè)、電子顯微鏡平臺(tái)、LCD封裝檢測(cè)、透鏡激光3D熔覆加工等各種高精密制造檢測(cè)。

• 產(chǎn)品參數(shù)

  重復(fù)定位精度：±0.001mm
  絕對(duì)定位精度：±0.004mm
  XYZ三軸行程：X500mm/Y500mm/Z200mm
  非標(biāo)定制產(chǎn)品，配置價(jià)格請(qǐng)咨詢！
  *絕對(duì)定位精度需通過軟件修正。

  Tips：絲桿模組行程超過750mm時(shí)，會(huì)產(chǎn)生螺桿偏擺，此時(shí)請(qǐng)將降低速度；最高速度是以伺服馬達(dá)最高轉(zhuǎn)速3000RPM以下為基準(zhǔn)；馬達(dá)加減速設(shè)定為0.2s。

• 注意：限于文件大小和數(shù)量限制，高清產(chǎn)品手冊(cè)PDF版及完整的產(chǎn)品3D模型STEP文件，請(qǐng)聯(lián)系我司業(yè)務(wù)人員獲取，給您帶來不便敬請(qǐng)諒解！